質量流量控制器（MFC）中設置有一個氣體流量調節閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程，在工作的過程當中，控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于最低值（0.1 MPa），有可能控制達不到滿量程值;若高于最高值（0.3MPa），有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時，無論用戶工作的反應室是真空還是高壓，應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內，并且要求氣壓要相對穩定。
