系列：控制電源
產品描述
RPS AX7695 MKS遠程等離子源
產品品名:MKS RPS AX7695遠程等離子源
系列:RPS系列
作用:產生高密度、均勻的等離子體，用于材料改性、表面處理、薄膜沉積等多種應用。
用途:
半導體制造:晶圓清洗、刻蝕、沉積等
光伏制造:玻璃清洗、鍍膜等
顯示器制造:蝕刻、沉積等
其他:生物醫學、航空航天、汽車制造等
特征:
高密度、均勻的等離子體
可控的等離子體參數
穩定的運行
易于維護
產品說明:
MKS RPS AX7695遠程等離子源是一款高性能、高可靠性的遠程等離子源，采用先進的射頻(RF)技術和微波技術制造而成。它具有高密度、均勻的等離子體、可控的等離子體參數、穩定的運行、易于維護等特點，可廣泛應用于半導體制造、光伏制造、顯示器制造等多種領域。
產品描述:
MKS RPS AX7695遠程等離子源由電源、匹配網絡、等離子體腔體等組成。電源產生高頻或微波能量，通過匹配網絡傳輸到等離子體腔體。在等離子體腔體內，電磁場將氣體激發成等離子體。等離子體通過等離子體出口射向目標表面，進行材料改性、表面處理、薄膜沉積等操作。
產品參數:
型號:RPS AX7695
頻率:13.56 MHz
功率:2 kW
等離子體密度:>10^12 cm^-3
等離子體均勻性:<5%
產品規格:
尺寸:600 mm x 400 mm x 300 mm
重量:20 kg
應用領域:
MKS RPS AX7695遠程等離子源廣泛應用于以下領域:
半導體制造:晶圓清洗、刻蝕、沉積等
光伏制造:玻璃清洗、鍍膜等
顯示器制造:蝕刻、沉積等
其他:生物醫學、航空航天、汽車制造等
