（一）真空泵噴油：
1、油量過多（放出多余油量）
2、突然暴露大氣（開泵時應注意斷續啟動電機。因系統損壞而暴露大氣，應注意關閉低真空閥或夾上夾子）
3、泵原設計油箱較小（在排氣口增設油氣分離裝置，并在排氣口接上橡皮管引離工作場地）
4、泵轉子反轉（重接電源，換向）
（二）真空泵啟動困難（注：括號內為排除方法）：
1、油溫過低（給油加溫到15℃以上保證工作場地室溫在15℃以上）
2、泵內潤滑不良（調節油路增強潤滑換適當的機械泵油）
3、油已變質或混入某種擴散泵油（換油）
4、停泵時泵腔內未放入大氣，大量泵油進入泵腔（停泵時要注意放氣，檢查壓差閥是否正常工作）
電機斷一相電源（此時電機無聲）（檢修電源）