產品參數 |
品牌 | 皓睿光電 |
厚度 | 430微米 |
直徑 | 2英寸/4英寸 |
特性 | 藍寶石晶體 |
顏色 | 白色 |
是否PSS | 否 |
倒角形狀 | T |
加工定制 | 是 |
SORI翹曲度 | 20微米 |
晶向 | C偏MC偏A 0.2-6度 可定制 |
拋光 | 單拋/ 雙拋 |
拋光粗糙度 | 小于0.3nm |
包裝 | 25片卡塞盒裝 |
可售賣地 | 全國 |
用途 | 材料生長用襯底 |
材質 | 泡生法KY藍寶石晶體 | |



產品規格
材質: >99.99高純度氧化鋁晶體(泡生法)
晶向:
* C軸向A軸偏轉 0.5-6度
* C軸向M軸偏轉 0.5-6度
直徑:
* 50.8mm(2英寸),100mm(4英寸)
厚度:
* 430微米(2英寸標準厚度)
* 650微米(4英寸標準厚度)
拋光: 單面拋光/雙面拋光 (可選)
CMP拋光面粗糙度Ra總厚度公差TTV翹曲度BOW:參考規格書
彎曲度Warp:參考規格書
包裝:25片/盒多片盒雙層PE袋抽真空。
*特定規格產品請向客服索要產品規格書。

在斜切藍寶石襯底上生長 晶圓級二硫化鉬(MoS2)單晶薄膜
由于常規的二維材料化學氣相沉積法生長工藝所使用的外延襯底與MoS2存在對稱性不匹配的問題,導致生長的成核期出現了大量的180°反向MoS2晶疇,反向晶疇在長大過程中由于晶向不一致而無法合并成大面積MoS2單晶,制得的MoS2多晶薄膜具有較高的晶界密度,顯著降低了材料/器件的性能。
南京大學實驗團隊成功實現了晶圓級(2英寸) 二硫化鉬(MoS2)單層單晶薄膜的生長制備。研究成果發表在Nature Nanotechnology 上。研究表明C/A斜切藍寶石在不影響原有外延關系的同時,形成的臺階取向打破了反向MoS2晶疇在成核過程中的能量簡并態,進而引導MoS2晶疇沿臺階邊緣成核機制確定的優勢取向生長,可以生長出99.6%單一取向的MoS2晶疇,這些取向一致的晶疇可以合并成大面積MoS2單晶薄膜。該成核機制對指導二維TMDs大面積單晶薄膜的生長具有很好的普適性。
