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供應AerotechABL系列氣浮平臺
供應AerotechABL系列氣浮平臺 價格:\u9762\u8bae  元(人民幣) 產地:北京
最少起訂量:1 發貨地:北京
上架時間:2023-10-01 12:31:19 瀏覽量:79
北京高控科技有限公司  
經營模式:生產加工 公司類型:私營有限責任公司
所屬行業:電機減速機 主要客戶:企業單位
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聯系人:王曉春 (先生) 手機:18518556188
電話: 傳真:
郵箱:15810269808@163.com 地址:北京市西城區馬連道南街6號院1號樓5層518室

詳細介紹

產品參數
品牌Aerotech
產品特性氣浮平臺
是否進口
產地美國
加工定制
產品認證CE
速度響應頻率200KHz
適用電機Aerotech直線電機
可售賣地全國
型號ABL1500

????Aerotech?ABL系列氣浮軸承直驅直線運動平臺,擁有超 的定位功能,精度在0.2~0.5um之間。

設計特點

  • 專為 掃描和檢查而設計

  • 所有空氣軸承表面上的有效空氣預載

  • 線性編碼器反饋提供亞納米分辨率

  • 高剛性,可承受重載,并具有 幾何性能

  • 行程達500毫米

前沿制造業,特別是在半導體和數據存儲行業中,要求的定位公差超出了傳統滾珠絲杠和機械軸承定位系統的能力。ABL1500空氣軸承臺具有完全主動的預緊力,極高的剛度和 幾何特性, 為滿足這些需求而設計。

空氣軸承設計,實現高動態性能

ABL1500在垂直和水平表面上均帶有空氣預載功能。相對的薄膜壓力可保持軸承的名義間隙公差。除了大的空氣軸承表面可以將負載分配到較大的表面積上之外,這種設計還可以使平臺具有 剛度,非常適合重載或偏載。

制造技術導致了具有無法超越的幾何特征的階段?諝廨S承具有固有的平均效應,可限度地提 薄膜將填充小的表面空隙并允許其他不規則性。此特性可產生 螺距,滾動,偏航,直線度和平坦度規格。

直線電機驅動

此階段的驅動力是Aerotech的BLMC系列無刷線性伺服電機。該設計體現了Aerotech作為電機制造商的悠久歷史和經驗。BLMC使用無鐵力,這意味著零齒槽效應和無吸引力,從而實現了 的運動平穩性。BLMC能夠產生高的力和速度,代表了功率和性能的結合。

零維護

我們的完全非接觸式空氣軸承,非接觸式線性電動機驅動器和非接觸式反饋設備確保了Aerotech設備所期望的 水平下的多年免維護運行。由于運動元件之間沒有機械接觸,所以隨著時間的流逝,ABL1500不會遭受磨損或性能下降。使用壽命幾乎是 的,并且由于沒有潤滑-只有清潔,干燥的氣體-空氣軸承是潔凈室和醫療應用的理想選擇。

電纜管理

我們精心優化電纜彎曲半徑,以確保多年無故障運行。萬一發生故障,Aerotech的模塊化設計使電纜更換變得快速簡便,停機時間 少。我們將所有客戶要求的電纜,空氣軟管等都包含在CMS捆綁包中,以便于集成到 終系統中。兩端完全連接,可輕松集成到客戶的機器中。

技術指標

機械規格

模型

ABL1500-050

ABL1500-100

ABL1500-200

旅行

50毫米

100毫米

200毫米

準確性(1)

E1

已校準

±0.3微米

±0.3微米

±0.5微米

標準

±2.0微米

±4.0微米

±8.0微米

E3

已校準

±0.2微米

±0.2微米

±0.4微米

標準

±1.0微米

±2.0微米

±5.0微米

重復性

(雙向)(1)

E1

±0.1微米

±0.2微米

E3

±0.05微米

±0.05微米

±0.1微米

直線度(1)

±0.25微米

±0.4微米

±0.5微米

平面度(1)

±0.25微米

±0.4微米

±0.5微米

瀝青

±0.5弧秒

±1弧秒

±2弧秒

±0.5弧秒

±1弧秒

±2弧秒

偏航

±0.5弧秒

±1弧秒

±2弧秒

速度

2 m /秒

加速度

2克(空載)

力(連續)

93.6 N

載重量(2)

臥式

35公斤

25公斤

運營壓力

80 psi±5 psig

耗氣量

24-30 SLPM @ 551 kPa(0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴)

移動質量(空載)

5.1公斤

舞臺質量

14.7公斤

16.0公斤

18.6公斤

材料

MTBF(平均無故障時間)

30,000小時

  • 通過每個階段的認證。

  • 列出了軸上加載的軸方向。

  • 規格適用于在桌面上方25 mm處測量的單軸系統。多軸系統的性能取決于有效載荷和工作點。有關多軸或非標準應用,請咨詢工廠。

  • 為了防止空氣軸承承受負壓,建議在運動控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個在線壓力開關。

  • 供氣必須清潔,干燥至0°F露點并過濾至0.25 μm或更高;建議使用純度為99.9%的氮氣。

  • 對于XY配置,上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm,則需要ABL1500WB作為下軸。

模型

ABL1500-300

ABL1500-400

ABL1500-500

旅行

300毫米

400毫米

500毫米

準確性(1)

E1

已校準

±0.5微米

±0.6微米

±0.6微米

標準

±12.0微米

±16.0微米

±20.0微米

E3

已校準

±0.4微米

±0.5微米

±0.5微米

標準

±5.0微米

±5.0微米

±5.0微米

重復性

(雙向)(1)

E1

±0.2微米

±0

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