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二手日本Nidek晶片平坦度\/翹曲度測(cè)量?jī)xFT-17包安裝調(diào)試培訓(xùn)服務(wù)
二手日本Nidek晶片平坦度\/翹曲度測(cè)量?jī)xFT-17包安裝調(diào)試培訓(xùn)服務(wù) 價(jià)格:1.25  元(人民幣) 產(chǎn)地:天津天津
最少起訂量:1 發(fā)貨地:天津天津
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東莞市宏誠(chéng)光學(xué)制品有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)加工 公司類型:私營(yíng)獨(dú)資企業(yè)
所屬行業(yè):儀器儀表配附件 主要客戶:華為 大族 富士康
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:楊肖梅 (小姐) 手機(jī):13723521401
電話: 傳真:
郵箱:2531943211@qq.com 地址:東莞市茶山鎮(zhèn)黃嶺路62號(hào)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)

二手日本 Nidek 晶片平坦度/翹曲度測(cè)量?jī)xFT-17

Nidek高精密平面度檢測(cè)儀, 適用于透明晶體物體(如藍(lán)寶石晶片等)和LED外延晶片、芯片的檢測(cè)。

其應(yīng)用不僅局限于對(duì)藍(lán)寶石襯底單面/雙面的表面平坦檢測(cè),而且更多地應(yīng)用于對(duì)外延之后,外延層表面品質(zhì)、TTV等的檢測(cè)和評(píng)估。

在電腦顯示屏上,它可自動(dòng)生成三維立體的表面彩色效果圖,以幫助人們清楚細(xì)微地、直觀地了解和掌握對(duì)象物表面層生長(zhǎng)的情況。

此外,它也適用于液晶電視屏幕面板所需要的大而平的圖形掩膜的檢測(cè)。

詳情 楊經(jīng)理 18103045976

?

FT-17 Series

FT-900 Series

無(wú)解析

無(wú)顯示

帶解析

帶解析

(V2規(guī)格)

無(wú)解析

無(wú)顯示

帶解析

帶解析

(V2規(guī)格)

測(cè)定方法

光波干涉方式(斜入射)

光源

半導(dǎo)體激光(655nm、3mW)

He-Ne激光(632.3A、5mW)

樣本尺寸

直徑130mm以下

(平坦度測(cè)定100mm以下)

直徑200mm以下

樣本厚度

2000um以下(根據(jù)測(cè)量承載臺(tái)不同,最大可達(dá)10mm),其他厚度需客戶另行協(xié)商

樣本種類

Wafer(Si、化合物、酸化物、玻璃)、金屬片、硬盤(鋁、玻璃)等鏡面和非鏡面(反射率低的非鏡面不可測(cè)試)

樣本傾斜角度

垂直方向傾斜8度

垂直或垂直方向傾斜8度

干涉計(jì)設(shè)定敏感度

1、2、3、4、5u/紋理(下底面基準(zhǔn)時(shí)只有1、2um/紋理,且厚度1mm以上時(shí)1um/紋理)

測(cè)定范圍

紋理敏感度30倍(根據(jù)紋理狀況以及測(cè)試鏡頭倍率關(guān)系,有時(shí)不能達(dá)到30倍)

攝影鏡頭倍率

3倍以上

顯示分解能

?

0.01um

?

0.01um

重復(fù)精度

Repeatability:1б

?

0.02S+0.02M(um)

條件:樣本設(shè)定后連續(xù)測(cè)試

S:紋理敏感度

M:測(cè)定值

?

0.02S+0.02M(um)

條件:樣本設(shè)定后連續(xù)測(cè)試

S:紋理敏感度

M:測(cè)定值

???????

?

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Nidek高精密平面度檢測(cè)儀, 適用于透明晶體物體(如藍(lán)寶石晶片等)和LED外延晶片、芯片的檢測(cè)。

其應(yīng)用不僅局限于對(duì)藍(lán)寶石襯底單面/雙面的表面平坦檢測(cè),而且更多地應(yīng)用于對(duì)外延之后,外延層表面品質(zhì)、TTV等的檢測(cè)和評(píng)估。

在電腦顯示屏上,它可自動(dòng)生成三維立體的表面彩色效果圖,以幫助人們清楚細(xì)微地、直觀地了解和掌握對(duì)象物表面層生長(zhǎng)的情況。

?

該產(chǎn)品目前已在國(guó)內(nèi)大手廠商中廣泛采用,特別是在外延片的品質(zhì)檢測(cè)方面。頗受好評(píng)。

據(jù)不完全統(tǒng)計(jì),至2012年底該產(chǎn)品已被國(guó)內(nèi)LED襯底和外延片80多家廠家所使用。

??

測(cè)試項(xiàng)目

吸附:GFLR、GF3D、GF3R、TV、GBIR、TAPER、TAng、SFLR、SFLD、SFQR、SF3R、SF3D、SBIR、SBID

非吸附:BOW、SORI、整體應(yīng)力、局部應(yīng)力

?

可測(cè)試晶片種類

切割片、研磨片、拋光片、外延片、磊晶片

可選配光刻區(qū)域模擬軟件、應(yīng)力分析軟件等





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