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壓電式壓力傳感器的原理主要是壓電效應，它是利用電氣元件和其他機械把待測的壓力轉(zhuǎn)換成為電量，再進行相關測量工作的測量儀器，比如很多壓力變送器和壓力傳感器。壓電傳感器不可以應用在靜態(tài)的測量當中，原因是受到外力作用后的電荷，當回路有大的輸入抗阻的時候，才可以得以保存下來。但是實際上并不是這樣的。因此壓電傳感器只可以應用在動態(tài)的測量當中。它主要的壓電材料是：磷酸二氫胺、酒石酸鉀鈉和石英。而石英呢，其實是一種天然的晶體，而壓電效應就是在此晶體的基礎上發(fā)現(xiàn)的。在規(guī)定的范圍里，壓電性質(zhì)是不會消失，而是一直存在的。但是如果溫度在這個規(guī)定的范圍之外，壓電性質(zhì)就會地消失不見。當應力發(fā)生變化的時候，電場的變化很小很小，其他的一些壓電晶體就會替代石英。酒石酸鉀鈉，它是具有很大的壓電系數(shù)和壓電靈敏度的，但是，它只可以使用在室內(nèi)的濕度和溫度都比較低的地方。磷酸二氫胺是一種人造晶體，它可以在很高的濕度和很高的溫度的環(huán)境中使用，所以，它的應用是非常的。隨著技術的發(fā)展，壓電效應也已經(jīng)在多晶體上得到應用了。例如：壓電陶瓷，鈮鎂酸壓電陶瓷、鈮酸鹽系壓電陶瓷和鈦酸鋇壓電陶瓷等等都包括在內(nèi)。壓電式壓力傳感器的特點以壓電效應為工作原理的傳感器，是機電轉(zhuǎn)換式和自發(fā)電式傳感器。它的敏感元件是壓電的材料制作而成的，而當壓電材料受到外力基本原理是光學三角法：半導體激光器被鏡片聚焦到被測物體反射光被鏡片收集，投射到CMOS陣列上；信號來處理器通過三角函數(shù)計算陣列上的光點位置得到距物體的距離

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原理

典型的伺服閥由永磁力矩馬達、噴嘴、檔板、閥芯、閥套和控制腔組成(見圖)。當輸入線圈通入電流時，檔板向右移動，使右邊噴嘴的節(jié)流作用，流量減少，右側(cè)背壓上升；同時使左邊噴嘴節(jié)流作用減小，流量增加，左側(cè)背壓下降。閥芯兩端的作用力失去平衡, 閥芯遂向左移動。高壓油從S流向C2，送到負載。負載回油通過 C1流過回油口，進入油箱。閥芯的位移量與力矩馬達的輸入電流成正比，作用在閥芯上的液壓力與彈簧力相平衡，因此在平衡狀態(tài)下力矩馬達的差動電流與閥芯的位移成正比。如果輸入的電流反向，則流量也反向。表中是伺服閥的分類。

伺服閥主要用在電氣液壓伺服系統(tǒng)中作為執(zhí)行元件（見液壓伺服系統(tǒng)）。在伺服系統(tǒng)中，液壓執(zhí)行機構(gòu)同電氣及氣動執(zhí)行機構(gòu)相比，具有快速性好、單位重量輸出功率大、傳動平穩(wěn)、抗干擾能力強等特點。另一方面，在伺服系統(tǒng)中傳遞信號和校正特性時多用電氣元件。因此，現(xiàn)代的伺服系統(tǒng)也都采用電液方式，伺服閥就是這種系統(tǒng)的必需元件。

伺服閥結(jié)構(gòu)比較復雜，造價高，對油的質(zhì)量和清潔度要求高。的伺服閥正試圖克服這些缺點，例如利用電致伸縮元件的伺服閥，使結(jié)構(gòu)大為簡化。另一個方向是研制工作油（如電氣粘性油）。這種工作油能在電磁的作用下改變粘性系數(shù)。利用這一性質(zhì)就可通過電信號直接控制油流。

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