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技術(shù)描述
A.主要特征
00級(jí)花崗巖基座、立柱, 高精度線性導(dǎo)軌. 計(jì)算機(jī)控制的照明光源系統(tǒng): 背光（投射光）及八段環(huán)形照明光，直
流伺服電機(jī)，無牙螺桿傳動(dòng).
a)花崗巖基座、立柱 — 性變小，穩(wěn)定性好, 垂直度高。
b)導(dǎo)軌 —特制精密交叉導(dǎo)軌，從導(dǎo)軌的寬度和厚度均比普通導(dǎo)軌尺寸大、精度高。
c)傳動(dòng) —無牙螺桿傳動(dòng)
d)電機(jī) — SM全閉環(huán)交流伺服
B.技術(shù)指標(biāo)
?空間運(yùn)行速度：150 mm/s
?光柵尺分辨率：0.0005mm
?重復(fù)精度：0.003mm
?變倍精度：0.005mm
?測量范圍: 300 X200 X 200mm (X/Y/Z)
?工作限高：150mm
?外形尺寸：700 X 600 X 1000（長X寬X高）
?130萬高分辨率工業(yè)級(jí)CCD相機(jī)
?對(duì)焦系統(tǒng)：自動(dòng)對(duì)焦
?可程式自動(dòng)光源系統(tǒng)
?可程式自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)
?可程式自動(dòng)變倍系統(tǒng)
?機(jī)身結(jié)構(gòu)：精密鑄鐵懸臂式
?驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：精密交流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)、無牙螺桿傳動(dòng)
?工作臺(tái)承重: 20公斤
?機(jī)器凈重:190公斤
?隨機(jī)附帶: 檢測報(bào)告;合格證 ; 軟件使用手冊(cè)
C.環(huán)境要求
?工作溫度： 18℃ ~ 22℃(可保證精度)
?相對(duì)濕度: 40 — 70RL
?工作電壓: 230V 10
?頻率:50/60 Hz 5
功率：1000VA