勻膠機(jī)Laurell自動(dòng)滴膠WS-650MZ-23NPPB\/UD3B |
聯(lián)系人:趙經(jīng)理 (先生) | 手機(jī):18221354817 |
電話: |
傳真: |
郵箱:tchiu@mycroinc.com | 地址:武珞路628號(hào)亞洲貿(mào)易廣場(chǎng) |
![]() 1、?系統(tǒng)概述 1.1 智能嵌鎖,系統(tǒng)蓋板具有智能嵌鎖裝置,確保操作安全; 1.2 防腐裝置; 1.3設(shè)有保護(hù)氣體裝置:旋涂過程中對(duì)旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù); 1.4 通信接口,藍(lán)牙連接; 2、處理腔體 2.1 處理腔體內(nèi)徑不小于9.5英寸?(241毫米); 2.2 Wafer芯片尺寸至少滿足10-150mm直徑的材料,方片125x125mm,無需更換片托; 2.3 腔體具有易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì); 3、?旋轉(zhuǎn)馬達(dá) 3.1 轉(zhuǎn)動(dòng)速度至少滿足0-12,000rpm; 3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec; 3.3 馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差不超過±1; 4、控制系統(tǒng) 4.1工藝時(shí)間設(shè)定范圍至少滿足1-5999.9sec/step ,精度不超過0.1s; 4.2?配有高精度PLC可編程的控制器,設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006; 4.3 可存儲(chǔ)不少于20個(gè)程序段,每個(gè)程序段可設(shè)置不少于51個(gè)不同步驟的速度狀態(tài); 4.4 分辨率要小于0.5RPM,重復(fù)性誤差要小于±0.5RPM,具有國(guó)際NIST標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,并且無需再校準(zhǔn); 5、配套泵浦 5.1 配套真空泵系統(tǒng):無油型?220~240伏交流,50/60赫茲; 5.2 真空吸附范圍25-28 英寸汞柱?(~635-711毫米汞柱)可調(diào)節(jié),抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分鐘) ; 6、系統(tǒng)附件 6.1 原裝進(jìn)口水平測(cè)試儀;? 6.2 兩袋密封圈;? 6.3 配有兩套可更換的廢液接收單元; 6.4 UD自動(dòng)滴膠裝置:UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒; 6.5 EBR晶圓去邊,機(jī)械裝置; 邁可諾技術(shù)有限公司 客服熱線:4008800298 Q Q:3488598979 |
版權(quán)聲明:以上所展示的信息由會(huì)員自行提供,內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布會(huì)員負(fù)責(zé)。機(jī)電之家對(duì)此不承擔(dān)任何責(zé)任。 友情提醒:為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn),建議您在購買相關(guān)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。 |
機(jī)電之家網(wǎng) - 機(jī)電行業(yè)權(quán)威網(wǎng)絡(luò)宣傳媒體
關(guān)于我們 | 聯(lián)系我們 | 廣告合作 | 付款方式 | 使用幫助 | 會(huì)員助手 | 免費(fèi)鏈接Copyright 2011 jdzj.com All Rights Reserved技術(shù)支持:杭州濱興科技有限公司
銷售熱線:0571-28292387 在線客服:0571-87774297
展會(huì)合作/友情連接:0571-87774298
網(wǎng)站服務(wù)咨詢:0571-28292385
投訴熱線:400-6680-889(分機(jī)7)
網(wǎng)站經(jīng)營(yíng)許可證:浙B2-20080178