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JIMA RT RC-04分辨率測試卡,JIMA RC-04微焦點測試卡介紹

JIMA RT RC-04分辨率測試卡是一種用于設(shè)置和測試微焦 X 射線系統(tǒng)的光刻生產(chǎn)的測試模式。它支持 0.1 μm 和 10 μm 之間的分辨率，對應(yīng)于 0.2 μm 和 20 μm 之間的焦斑尺寸。不同距離的線束應(yīng)用于硅載體

JIMA RT RC-04分辨率測試卡特點：

測試卡封裝在一個防護盒中

盒子的外形尺寸（W×D×T）：40×30×5mm

芯片尺寸（W×D×T）：5×5×0.015mm

圖案布局：T型

線/空間尺寸：32種規(guī)格圖案,

0.1μm,0.15μm,0.2μm,0.25μm,0.3μm,0.35μm,0.4μm,0.5μm,0.6μm,0.7μm, 0.8μm,

0.9μm,1.0μm,1.5μm,2.0μm,3.0μm,4.0,5.0μm,6.0μm，7.0μm,8.0μm,9.0μm,10.0μm

每個測試圖案由 8 條線組成，T 形布局
吸收材料：鎢，厚度>=650nm
保護膜：PET膜25μm（含粘合劑）
硅基：15 μm /- 1 μm（厚度）
外殼尺寸：40 x 30 x 5 毫米（寬 x 高 x 深）
芯片尺寸：5 x 5 x 0.06mm（寬 x 高 x 深）
精度模式： 公差： /- 10
適用范圍工作溫度：10°C至70°C

JIMA RT RC-04分辨率測試卡用途：

在 X 射線系統(tǒng)的分辨率測試。選擇檢測器、樣品和試管之間的距離，以便獲得盡可能高的放大倍數(shù)。現(xiàn)在選擇所需的 X 射線參數(shù)。將測試圖案放置在試管前面，以便一束線條中的每條線條清晰可見。使用機械手進行溶出度測試，使下一個最小的線束變得可見。只要線條清晰，就繼續(xù)。以下近似適用：焦點尺寸等于分辨率乘以 2。

JIMA RT RC-04分辨率測試的布局 封裝

JIMA RT RC-04分辨率測試卡實拍圖