| Neutronix-Quintel光刻機(jī)，NXQ4006紫外掩膜曝光，MaskAlignment |
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.jpg) 1.光刻機(jī)主機(jī) 1.1具有穩(wěn)定可靠的芯片厚度補(bǔ)償系統(tǒng)； 1.2 PLC控制系統(tǒng)，可進(jìn)行工藝參數(shù)的編程，操作便捷； ▲1.3具有自動(dòng)執(zhí)行楔形誤差補(bǔ)償，并在找平后自動(dòng)定位功能； 1.4采用LED穿透物鏡照明技術(shù)，具有超強(qiáng)對(duì)準(zhǔn)亮度； 1.5配套集成式防震臺(tái)； .jpg) -LED紫外線燈罩? -曝光波長(zhǎng)365405435nm -LED壽命長(zhǎng)，無(wú)需維護(hù) -恒定強(qiáng)度，無(wú)需每天調(diào)整 -即時(shí)開啟-不使用時(shí)無(wú)需開啟 -低功耗 -閉環(huán)液體冷卻系統(tǒng) -具有MS Windows界面的基于PC的控件 -基于Windows 10的菜單驅(qū)動(dòng)圖形用戶界面 -配方設(shè)置功率電平 -g、h和i線紫外線強(qiáng)度的獨(dú)立控制 -配方設(shè)置從20到100輸出 -365時(shí)可編程范圍為6mw-30mw/cm2 -405時(shí)可編程范圍為15mw-75mw/cm2 .jpg) .jpg) .jpg)
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