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等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器。

本工藝在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

利用所產生的高能電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列復雜的化學反應，再經過多級凈化，從而消除各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達到低毒化、無毒化，保護人類生存環境。

等離子廢氣凈化設備適用于污水站、垃圾處理場所、公廁、噴漆、橡膠制品、印刷、中央空調、油煙粉塵領域、卷煙廠、紡織廠、大型火力發電廠、屠宰場等行業中，它們在生產過程中所產生的苯、甲苯、二甲苯類、醚類等有害氣體。

一、技術原理：

低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有極強潛在優勢的高新技術，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。

二、性能綜述：

去除污染物機理

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等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

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(1) 電場 電子→高能電子

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(2) 高能電子 分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團

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(3) 活性基團 分子(原子)→生成物 熱

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(4) 活性基團 活性基團→生成物 熱

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從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。