產品參數 |
MOCVD/HVPE生長硅/碳化硅/藍寶石基氮化鎵(GaN)薄膜片 品牌 | 中芯晶研 |
批號 | 最新 |
封裝 | 單片包裝 |
包裝 | 盒裝 |
品名 | 氮化鎵外延片 |
外延技術 | MOCVD |
尺寸 | 2、4、6英寸 |
結構 | 可定制生長 |
外觀 | 薄膜片 |
外延應用 | LED、LD、HEMT器件制備 |
數量 | 10 |
可售賣地區 | 全國 |
可售賣地 | 全國 |
型號 | 藍寶石、硅、碳化硅基 | |
目前,GaN外延生長方法有氫化物氣相外延(HVPE)、分子束外延(MBE)、金屬有機化合物化學氣相沉淀(MOCVD)。目前,大多數商用器件都是基于GaN異質外延的,主要襯底是碳化硅(SiC)、硅(Si)和藍寶石(Sapphire)。
可供硅/碳化硅/藍寶石基氮化鎵(GaN on Si/SiC/Sapphire) 外延片,主要應用于HMET, LED, LD等器件制備。具體參數以HEMT外延片為例:
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SiC/Si基GaN HEMT典型外延結構
1. GaN on SiC HEMT外延
由于碳化硅具有優異的導熱性,與氮化鎵的高功率密度和低損耗相結合,該類外延片是射頻器件的合適材料,目前碳化硅基氮化鎵外延片的主流尺寸為在4寸與6寸。
目前,GaN-on-SiC外延片主要應用于5G基站、國防領域射頻前端的功率放大器(PA)。
2. GaN-on-Si?HEMT外延
由于硅是最成熟和成本最低的襯底材料,且硅的生長速度很快,因此在硅基上外延氮化鎵可以有效降低成本,同時可制作大尺寸外延片。
GaN on Si HEMT外延有常開型即耗盡型(D型)和常關型即增強型(E型)兩種。
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3. GaN-on-Sapphire HEMT外延
該外延片目前主流尺寸為4寸,具有良好的均勻性、高擊穿電壓、極低的緩沖區泄漏電流、高電子濃度、高電子遷移率和低方塊電阻,用于射頻和功率半導體器件。
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GaN on Sapphire HEMT典型外延結構
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