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1.在進行維修之前，準備好檢測手段。
2、判斷故障，確診故障。判斷準，可省事。確診要驗證。
3、排除故障，先簡后繁，先易后難。無須拆卸的不拆。真空泵機組以減少由于缺少專用工具和操作不當引起新的損傷，減少變化和跑合運轉時間。一般的說，拼接式轉子是不可拆卸的，否則形位公差就不保，轉子就報廢了。

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4、有毒有害、有腐蝕性的泵，應請用戶先行清洗，并告知必要的防護措施，以保障維修人員的健康。
5、故障分類
把故障分為運轉故障和性能故障。
運轉故障可包括泵不轉，泵溫太高，漏油，漏水，最大功率超標等。

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性能故障可包括極限壓力、極限全壓力、抽氣效率、噪聲、噴油、氣鎮性能等不達標或不能滿足要求。
6、故障判斷與診斷例舉
(1)泵不轉。情況不明不能先開泵，以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。
①泵能盤動而不轉。原因可以是聯軸器故障；打滑；電機接線有誤；電機損壞；電源沒電等。

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②不能盤動或盤起來很重的，原因可以是因為起動泵溫太低，泵油粘度太高；設計制造原因的停泵返油太多。水環真空泵油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝結，或在排氣管中凝結的水流回泵中)；有異物在泵內(進氣管中的焊渣、氧化物；旋片彈簧等泵零件的碎屑；旋片變形卡住；發生了咬合(銅套、轉子、中壁、泵蓋、定子、軸承)。