RFB-2000G射頻電源 |
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<\/span><\/span><\/span> <\/span>選<\/span><\/span><\/span><\/span>用高質(zhì)<\/span><\/span><\/span>量的元件和較少的零件數(shù)量使產(chǎn)品可靠性、壽命達(dá)到**化,從而使用您的投資和制程能力**的利用。用戶(hù)界面友好,操作簡(jiǎn)單,上手容易可為您減少人員的培訓(xùn)成本,提高操作人員的效率。整個(gè)電源系統(tǒng)<\/span><\/span>采用超強(qiáng)的 <\/span>ARM<\/span>及 <\/span>FPGA<\/span>邏輯芯片和**的 <\/span>A/D<\/span>轉(zhuǎn)換芯片去閉環(huán)控制射頻輸出功率,使該產(chǎn)品具有極其穩(wěn)定的功率輸出,減少了由等離子體阻抗變化引起的增益波動(dòng),直<\/span>觀快捷簡(jiǎn)單的面板操作,有主<\/span>/<\/span>從電源設(shè)置,各種問(wèn)題診斷說(shuō)明,超大的 <\/span>LCD <\/span>顯示屏提供多種外接用戶(hù)端口供客戶(hù)選擇,包含 <\/span>RS232<\/span>、<\/span>RS485<\/span>、<\/span>DB<\/span><\/span>25 <\/span>針模擬用戶(hù)端口<\/span>,<\/span>與匹配器進(jìn)行接口通訊控制,直觀的顯示實(shí)時(shí)匹配電容位置。擁有多種頻段和功率選擇(2M,4M,13.56MHz,27.12MHz,40.68MHz,功率100W到5KW)。<\/span><\/span><\/span><\/span><\/p> <\/span>作為射頻驅(qū)動(dòng)等離子體系統(tǒng)的電源,該系統(tǒng)可應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)。包括刻蝕、<\/span>RIE<\/span>、平行板 、<\/span>ICP<\/span>、射頻濺射、<\/span>CVD<\/span>、<\/span>PVD<\/span>和<\/span>CO2<\/span>激光器等系統(tǒng)。<\/span><\/span><\/span><\/span><\/p> 具體參數(shù)見(jiàn)://www.yamgd.com/Product/381974422.html<\/a><\/span><\/span><\/p><\/div>
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