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小型蒸鍍儀熱蒸鍍儀磁控濺射靶源

	價格：0 元(人民幣)	產(chǎn)地：鄭州
	最少起訂量：1臺	發(fā)貨地：鄭州
	上架時間：2021-05-26 14:27:44	瀏覽量：101
	鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
	經(jīng)營模式：生產(chǎn)加工	公司類型：私營有限責(zé)任公司
	所屬行業(yè)：專用儀器	主要客戶：高校研究所
	在線咨詢

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聯(lián)系人:宋工 ()	手機(jī):15286826848
電話:	傳真:
郵箱:	地址:高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西三環(huán)路289號6幢11單元3層73號

詳細(xì)介紹

KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率，可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜。

控制方式	7寸人機(jī)界面手動自動模式切換控制
濺射電源	直流濺射電源
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1000W
輸出電壓電流	電壓≤1000V 電流≤1A
極限真空	機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa
濺射真空	≤10Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
樣品臺	可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離	40-105mm
真空測量	皮拉尼真空計（已安裝測量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
預(yù)留真空接口	KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

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