專業(yè)維修Pfeiffer普發(fā)渦輪分子泵HiPace 80應(yīng)用 |
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HiPace 80用于分子束外延 MBE, 主要針對(duì)金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長(zhǎng),用于SPECS 近常壓光電子能譜儀設(shè)備,用于自主搭建真空腔體 Pfeiffer HiPace 80 抽速可達(dá)到 71 l/s 高性能渦輪分子泵。 對(duì)所有氣體的高抽速和極高壓縮比,防護(hù)等級(jí) IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求,并且可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝
HiPace 80分子泵應(yīng)用 |
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