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  SLC系列的線性SMAR滑塊平臺基于帶有交叉滾子軸承的線性滑塊。SLC載物臺的特點是緊湊性、高剛性和直線度。它們非常適合穩定性和***是重中之重的定位系統。可選地，這些載物臺有***的版本，用于高真空和***真空，也可以以不同的材料組合制造。SLC線性平臺有兩種不同的系列，主要區別在于寬度和高度。

  
  

您是否正在尋找***來推進您在***技術領域的應用？無論是定位技術、計量還是自動化技術，我們都是您的合適合作伙伴。

您對我們能力和共同成功的信心使我們的團隊發展到200名高技能成員。

我們不斷增長的產品組合包括經過驗證的產品和/或系統，可滿足您的各種需求。此外，我們擅長設計適合您需求的特殊設備，并以簡單快速的方式實施它們。我們通過建立三個業務部門來***這些能力。

在我們的運動業務部門，我們開發和生產***、緊湊的納米定位產品，滿足要求，同時易于操作。我們的產品類別包括：

SMARSLIDE——壓電定位平臺，定位范圍從幾毫米到一米以上，也可以在***環境條件下使用

SMARSHIFT – 快速且***的電磁定位平臺

SMARFLEX – 基于合規結構的高分辨率動態掃描儀

SMARBOTIC – 具有多個自由度的復雜定位系統和機器人

我們的計量業務部門提供用于高分辨率位置位移測量的組件和解決方案，以及用于組件表征和故障分析的工具。我們的測量系統是：

皮克刻度干涉儀 – 具有皮米分辨率的緊湊型激光干涉儀

METIRIO – 小型化光學編碼器;也適用于苛刻的環境條件

我們的組件表征解決方案包括：

皮克SCALE測振儀，用于檢測面內和面外振動，分辨率為pm分辨率

SMARPROBE – 納米探測平臺，允許突破晶圓、ASICS 和 MEMS 故障分析技術可行性的極限。

在我們的自動化業務部門，我們在自動化生產小型化組件和系統（如光學和光電組件）的各個方面為您提供支持。我們設計和生產高通量生產設備，包括開發生產工藝（如果需要）。當然，包括在您的現場安裝和調試我們的系統以及通常的SmarAct服務。

公司產品

運動產品

線性平臺

SmarAct的產品組合包括多個線性定位平臺系列。每條生產線的開發都考慮到了客戶的要求。不同產品系列的組件之間的完全兼容性允許選擇具有特定關鍵功能的階段，以將它們組合成復雜的多軸系統。

SLC系列的線性滑塊平臺基于帶有交叉滾子軸承的線性滑塊。SLC載物臺的特點是緊湊性、高剛性和直線度。它們非常適合穩定性和***是重中之重的定位系統。可選地，這些載物臺有***的版本，用于高真空和***真空，也可以以不同的材料組合制造。SLC線性平臺有兩種不同的系列，主要區別在于寬度和高度。

型號：SLC-1720，SLC-1730，SLC-1740，SLC-1750，SLC-1760，SLC-1770，SLC-1780。

SLC-24系列的線性平臺（類似于SLC-17系列）也非常堅固，因此非常適合穩定性和***是重中之重的微納米定位系統。它們的尺寸為寬 24 毫米，高 10.5 毫米，比 SLC-17 更寬，但更堅固。它們的高直線度即使在長行程范圍內也能實現***定位精度。為了進一步提高機械負載能力，可以使用U形底座。然而，用于微和納米定位任務的位置傳感器可以選擇集成到每個階段中，而不會影響外部尺寸。可選地，這些載物臺有***的版本，用于高真空和***真空以及在低溫條件下運行。這些載物臺可以以不同的材料組合制造。對于長度在 30 到 75 mm 之間的 SLC-24 級，可提供用于閉環操作的低溫版本。每當出現有關兼容性，規格和定制的問題時，隨時歡迎您與我們聯系。

型號：SLC-2430,SLC-2445,SLC-2460,SLC-2475,SLC-2490,SLC-24105,SLC-24120,SLC-24150,SLC-24180,SLC-2430。

CLS系列的SMARSLIDE線性平臺是高可用性應用中多軸設置的選擇，因為它們配備了可更換的驅動單元，以確保快速簡便的現場維修。

它們與SmarAct模塊化系統的嚴格兼容性使其能夠輕松集成到多軸系統中：它們的安裝孔模式與我們的旋轉平臺和測角儀的安裝***匹配。

型號：CLS-3232 - 帶EDU的線性載物臺,CLS-3252 - 帶EDU的線性載物臺,CLS-3282 - 帶EDU的線性載物臺,CLS-5252 - 帶EDU的線性載物臺,CLS-5282 - 帶EDU的線性載物臺,CLS-9292 - 帶EDU的線性載物臺,CLS-92152 - 帶EDU的線性載物臺。

CLL系列的線性平臺基于循環滾珠滑塊。Tey 提供 99、179、259 和 379 mm 的標準行程范圍。由于可根據要求提供特殊長度，因此這些長行程平臺是在有限空間內長距離***定位的解決方案。CLL載物臺配備了SmarActs可更換的驅動單元，可確保輕松檢修載物臺的核心部件壓電驅動裝置。這使得維修成為一項非常簡單的任務。CLL載物臺可由我們的任何粘滑驅動控制系統操作。
也可以將多個滑塊放在同一導軌上并獨立移動它們。這允許完全電動的光學工作臺設置。

CLL配件

提供各種附件，允許將現有設備安裝在CLL載物臺上。此外，CLL載物臺可以與現有的光學設置或試驗板結合使用。歡迎隨時與我們聯系，討論特殊配件或完全定制的解決方案。例如，以下附件可用于將CLL平臺用作光學工作臺：被動滑塊、機械端擋塊、試驗板適配器、光電機械安裝座。

輔料

MCS2：MCS2是SmarAct***通用的模塊化控制系統

SCU - 簡單控制單元：帶有一個或三個通道驅動器的控制系統，可用作OEM板或集成手持控制器。

MLS產品系列提供SMARSLIDE電磁直線電機，用于工業應用，實驗室自動化和緊湊型定位解決方案，其中高速，力和納米級***的運動必須與高占空比和***性相結合。這些平臺配備了非接觸式直線電機，開辟了一個高動態過程同時需要高速和納米精度的應用領域。電磁驅動器可實現高達 1 m/s 的速度。此外，它們***，幾乎免維護。其緊湊的尺寸確保無縫集成到現有系統中。

型號：MLS-3252 - 電磁直接驅動，MLS-5282 - 電磁直接驅動，MLS-92122 - 電磁直接驅動。

MLL系列電機基于強大的長壽命SMARSHIFT電機提供不同的長行程電磁驅動器。它可以很容易地與MLS系列的其他平臺和其他SmarAct定位平臺組合，形成復雜的多軸系統。

型號：MLL-400,MLL-82。

DLS系列，SmarAct的混合驅動器將粘滑驅動器和壓電掃描儀的優點結合在一個緊湊的設備中。混合動力驅動器由兩個驅動單元組成 – 粘滑單元，用于驅動載物臺的中心部分，從而驅動整個蓋板，以及掃描儀單元，用于相對于中心部分驅動蓋板的外框部分。粘滑驅動器和掃查器都可以使用相同的反饋信號進行閉環定位。

型號：DLS-3232-混合動力驅動。

PLF系列，對于AFM等掃描應用，SmarAct提供具有掃描速度和***小掃描誤差的SMARFLEX掃描平臺。同樣在光學顯微鏡領域，可以***地設置焦點，可以非常***地傾斜反射鏡或耦合光纖。
PLF產品系列提供具有不同掃描方向的***SMARFLEX壓電掃描儀。它們可以很容易地組合成多軸掃描系統。

型號：PLF3232-x.60,PLF3232-z.60,PLF5252-x.200。

SL系列線性***超緊湊，專為要求***小型化的設置而設計。在保持其微型尺寸的同時，***提供相對較長的行程范圍，并且可以組合以構建復雜的多軸系統。SL 系列***寬 11 mm，高 5.2 mm。

型號：SL-0610 - 緊湊型線性平臺，SL-0620 - 緊湊型線性平臺，SL-0630 - 緊湊型線性平臺。

旋轉平臺

基于不同的驅動技術，可提供***旋轉平臺。它們可以輕松地相互組合或與其他SmarAct***組合，以形成更復雜的設置，例如萬向節，旋轉歐拉支架，多軸或多旋轉定位系統。SmarAct***允許連續和機械***制的旋轉。如有必要，可以機械限制旋轉，以避免碰撞或撕裂安裝在其上的設備的電纜。其中許多版本有高壓或特高壓兼容版本以及完全非磁性版本。

型號：SR-1908-旋轉平臺，SR-2013-旋轉平臺，SR-2013-旋轉平臺，SR-2812-旋轉平臺，SR-3211-旋轉平臺，SR-4011-旋轉平臺，SR-4513-旋轉平臺，SR-5014-旋轉平臺，SR-5714-旋轉平臺，SR-5714C-旋轉平臺，SR-7012-旋轉平臺，SR-9219-旋轉平臺，SR-9219C-旋轉平臺，SR-12012-旋轉平臺。

高負載級

CHS和SHL系列的線性平臺***設計用于處理重負載。機械設計基于致動楔塊，***了載物臺運動的分辨率。單獨的導軌確保沿負載方向直線運動，并允許集成位置傳感器，以實現直接位置反饋和閉環操作。具有一個自由度的載物臺，用于純垂直提升運動，可以配備額外的恒力彈簧（CFS），以將有效載荷增加到更高的值。CHS級配備了SmarAct的可更換驅動單元，便于維護。CHS和SHL平臺也可以組合在一起，形成在所有三個維度上都具有高阻塞力的多軸系統。

型號：CHS-3232-1D-5 - 高負載級,CHS-5237-1D-10 - 高負載級,CHS-9257-1D-15 - 高負載級,SHL-1D80N-1 - 高負載級,SHL-3D5N-5 - 高負載級。

測角儀載物臺

CGO系列的SMARSLIDE測角儀平臺非常適合需要在小角度（±5°）上非常***旋轉的應用。它們有兩種不同的半徑可供選擇，可以直接堆疊以形成具有共同旋轉中心的***緊湊和堅硬的歐拉測角儀。

CGO系列具有可更換驅動單元（EDU）和兼容的孔型，可輕松與線性或旋轉平臺集成到多維串行
系統中。

型號：CGO-60.5 - 測角儀載物臺，CGO-77.5 - 測角儀載物臺。

定位系統

在***定位樣品和工具時，科學和工業中的大多數應用都需要一個以上的自由度。SmarAct的使命是成功解決您的特定定位任務，并讓您完全滿意。從在平面上定位組件和樣品到高度復雜的3D定位任務：SMARBOTIC定位系統旨在***應對您的挑戰。

TRIPOD 產品系列提供高度模塊化的多維定位系統，將串行運動學的多功能性和并聯運動學的緊湊性結合在一個混合設計中。

型號：TRIPOD 400-6DoF，TRIPOD 52-6DoF，TRIPOD 92-6DoF。

SMAR POD運動系統提供類似于***六足位移臺系統的六個自由度，同時***的分辨率和可重復性。與串聯運動系統相比，并聯運動學SMARPOD表現出更高的剛度。用戶友好的軟件包可輕松集成到您自己的控制環境中，確保非常短的設置時間。

型號：SMARPOD CLS-32，SMARPOD 70.42，SMARPOD 110.45，SMARPOD 225.75，SMARPOD P-SLC-17，SMARPOD P-SLC-24，SMARPOD P-CLL。

典型的定位系統可作為SmarAct模塊化系統的一部分提供。這些定位系統以客戶為靈感，代表了客戶***需要的系統和平臺。
該系統用途***，可用于各種定位任務。如果直接安裝方法，所有系統也可不帶試驗板適配器。
在這些典型系統的基礎上，結合客戶特定的連接元件和客戶特定的***，可以實現非常復雜的串行定位系統。
如果您的應用需要我們網站上未顯示的特殊配置，請隨時聯系我們的應用***，討論您的應用要求。

2 自由度,具有兩個自由度的自定義系統

型號：XY-SLC17：22,XY-SLC17：30,XY-SLC17：80,XY-SLC24：60,XY-CLS32：32,XY-CLS52：52。

3自由度,具有三個自由度的自定義系統

型號：XYZ-SLC17：22，XYZ-SLC17：22，XYZ-SLC23：30，XYZ-XY SLC17：40 Z SLC17：30，XYZ-SLC24：45，XYZ-CLS32：32，XYZ-CLS52：52，XYZ-SHL-3D5N-5。

4自由度,具有四個自由度的自定義系統

型號：XYZR-XYZ CLS32：32 R SRP32：11，XYZR-XYZ SLC17：30 R SRP20：13。

顯微鏡載物臺，在生命科學領域，樣品的***處理和操作是顯微鏡工作站日常工作中***重要的部分之一;因此，所使用的設備必須非常準確和可靠。SmarAct為您的特定應用提供***、堅固和定制的顯微鏡平臺。

型號：SOM-12090，SOM-180150，SOM-505020，SOM-8080，SOM-808030。

電動光機械

小型化、***化和模塊化使SmarAct定位系統成為光學領域復雜設置和實驗的解決方案。除了各種多軸定位系統外，SmarAct還開發了大量***光機械部件。
結合定位傳感器，它們可實現閉環位置控制，非常適合自動或遠程控制的實驗設置。
為了滿足對真空光學裝置的高要求，幾乎所有組件都提供高真空或***真空版本。對于必須避免反射的設置，可以使用組件的黑色陽極氧化版本。這里介紹的所有光機械組件和設備都可以高度定制。我們總是很樂意討論滿足您確切要求的定制解決方案。

***傾斜鏡支架，電動傾斜鏡座是光學系統的關鍵部件。傾斜反射鏡支架適用于市場上***常見的光學器件，范圍從 0.5 到 2 英寸。在直徑上。還提供適用于低污染應用的 UHV 兼容系統和反射鏡支架。例如，它們用于高功率激光腔。
SmarAct提供具有主動閉環控制的可傾斜鏡座。集成編碼器基于電感式測量原理，不會產生雜散光。

型號：STT-12.7 - ***傾斜鏡安裝，STT-25.4 - ***傾斜鏡安裝，STT-50.8 - ***傾斜鏡安裝，STT-2013 - ***傾斜鏡安裝。

虹膜隔膜，電動虹膜膜用于光電子、激光和醫療技術等領域。它們允許完全遠程控制光學設置。
由于使用了高質量的材料，即使在***條件下，虹膜片在數千次打開/關閉循環中也很可靠。虹膜膜可以選擇配備位置傳感器。這樣就可以對孔徑進行閉環控制。提供高真空和***真空兼容版本，以及有關孔徑尺寸、基材和整體尺寸的定制組件。

型號：SID-7 - 虹膜膜，SID-18 - 虹膜膜，SID-50 - 光圈膜片，SID-5714-ID-18 - 虹膜膜，SID-5714-ID-22 - 虹膜膜，SID-5714-ID-25 - 虹膜膜。

濾光輪

型號:SFW-6-25.4 - 濾光片轉盤,SFW-8-25.4 - 濾光片轉盤,SFW-5-50.8 - 濾光片轉盤。

矩形孔徑

型號：SMS-20-0 - 矩形光圈，SMS-20-20 - 矩形孔徑。

SMARGON微型機器人

在選擇用于科學和工業的定位設備時，精度、堅固性和可靠性是重中之重。SmarAct設計了一個具有六個自由度的機器人定位系統，用于實驗或微裝配設置中的各種定位任務。其緊湊的設計造就了纖薄的輪廓，即使在狹窄的空間內也允許較大的旋轉角度。通過智能自動校準程序，它可以在所有旋轉軸的個位數千分尺范圍內實現混亂。
SMARGON是一種具有六個自由度的定位系統，基于安裝在重型旋轉平臺上的串行和并聯運動學的組合，定義了設備的ω軸。該旋轉平臺可以是直接驅動或壓電驅動平臺。***混合運動學方法允許末端執行器（也可以是組件或 50 克的其他有效載荷）在 X、Y 和 Z 方向上定位，并在 χ、φ 和 ω 方向上旋轉。
SMARGON控制系統計算部分平行的運動學變換，允許直接定位末端執行器，這使得姿勢的教學變得容易。與 MCS2 模塊化控制系統的兼容性***了與現有控制環境的輕松集成，并以直觀的方式控制定位系統。

SMARGON由安裝在重型旋轉平臺頂部的五個自由度的定位系統組合組成。壓電陶瓷驅動的旋轉平臺或***空氣軸承可用于定位系統的ω旋轉。五軸定位平臺允許被研究的樣品沿 X、Y 和 Z 方向定位，并在 χ 和 φ 方向
上旋轉。SMARGON控制系統計算部分平行的運動學變換，允許在梁中直接定位和對準。在其標準配置中，磁性樣品架安裝在前端，這提供了一種快速便捷的方法來裝載和卸載不同的樣品。
這款***測角儀專為X射線衍射實驗而設計。因此，SmarAct特別關注SMARGON定位系統的六個自由度。
測角儀整體緊湊，占地面積小，有助于限度地減少自陰影效應。這也允許將X射線探測器放置在更靠近樣品的位置，從而產生要檢測的衍射錐的更大部分。SmarAct還能夠提供真空兼容版本或完全由非磁性材料制成的SMARGON。
整個設置的混淆范圍代表了整體性能，并且在很大程度上取決于每個定位階段的精度。因此，每個階段都***對齊，以確保組合多軸系統中的協同作用。此外，通過可用的校準套件進行的復雜校準為在系統運動控制器中實施的主動補償程序提供了基礎。下表概述了成功校準后現場操作期間確定的系統規格。

校準套件由硬件和軟件部分組成，兩者都設計用于自動測量與理想旋轉的偏差，并計算將存儲在PMAC中的補償參數。硬件部分包括配備有陶瓷球作為測試對象的校準樣品。帶有力傳感器的三維定位系統用于測量陶瓷球的橫向位移，同時校準樣品由SMARGON旋轉。復雜的例程可確保在幾分鐘內校準測角儀。

Smaract模塊化系統

變化在學術研究和工業制造中都是不變的。設備需要具有適應性，以滿足新的要求并保持投資可控性。
SmarAct的模塊化系統是一種產品概念，允許客戶基于嚴格的模塊化以及線性，旋轉和測角儀平臺之間的相互兼容性，在現場調整，修改和重新配置復雜的多軸定位系統。它允許組合 CLS、SLC、CGO、DLS、MLS 和 SR 產品系列的兼容執行器，以形成復雜且可重新配置的定位設置。標準化的尖括號、適配器和附件提供了將SmarAct的單軸平臺組合成可轉換儀器所需的靈活性，同時***了由此創建的定位解決方案的精度和質量。由于高度模塊化和大量的組件和附件，SmarAct模塊化系統提供了幾乎***的可能性來構建您自己的設置。下面介紹的定位系統作為示例，展示了SmarAct模塊化系統的可能性和現場可重構性。

微型夾持器

在自動化裝配線上***處理零件和工具以及生命科學中的樣品處理和操作通常是***關鍵的任務。
我們通過多功能抓取解決方案補充了我們的產品組合，以滿足不斷增長的需求。
SmarActs的微型夾持器由線性SMARSLIDE平臺和夾爪組成，如果需要，可以輕松更換和定制。
當配備位置傳感器時，微型夾持器可以完全控制抓取過程。此外，集成在平行微型抓手SGP-17F中的力傳感器不僅可以控制鉗口開口，還可以在處理易碎或高度脆弱的物體時控制夾持力。

型號：SG-1730 - 微型夾持器，SGP-17F - 微型夾持器。

特定環境階段和系統

為了在***條件下為您提供的定位性能，SmarAct為工業和科學領域的各種應用開發了其定位平臺的***版本。對于需要在低溫、***真空或高磁場下運行的應用，SmarAct完善了特定材料、合適的布線和特殊制造工藝的使用。
我們的應用***總是很樂意與您討論您設置的特定環境條件，并為其找到解決方案。

低溫壓電平臺和系統，工業和基礎研究中的許多應用都需要低溫。此外，在許多情況下，不僅需要冷卻樣品，還需要在低溫恒溫器內***地機械操作它們。SmarAct開發了具有低熱分布和***真空兼容性的SMARSLIDE平臺，允許在低至mK的溫度下操縱樣品。此外，它們可以使用高達330K的功率，并且可以像常規UHV系統一樣烘烤。還提供非磁性版本。

型號：SLC-2430-F - 閉環低溫載物臺，SLC-2445-F - 閉環低溫載物臺，SLC-2460-F - 閉環低溫載物臺，SLC-2475-F - 閉環低溫載物臺，SLC-1720 - 線性壓電平臺，SLC-1730 - 線性壓電平臺，SLC-1740 - 線性壓電平臺，SLC-1750 - 線性壓電平臺，SLC-1760 - 線性壓電平臺，SLC-1770 - 線性壓電平臺，SLC-1780 - 線性壓電平臺，SLC-2430 - 線性壓電平臺，SLC-2445 - 線性壓電平臺，SLC-246 - 線性壓電平臺，SR-2812-CR - 低溫旋轉臺，SRT-2006 - 低溫旋轉階段，STT-12.7-CR低溫***傾斜鏡支架，SLT-1213- 低溫線性平臺，低溫定位系統。

控制系統和軟件

每個成功的定位解決方案都至少依賴于兩個支柱。***個由解決方案的機械部分定義，***個由控制它的電子設備和軟件定義。SmarAct復雜易用的控制系統，加上我們直觀的軟件解決方案和軟件開發工具包（SDK），是將SmarAct定位技術快速輕松地集成到您的應用中的基礎。
SmarAct的控制系統產品組合包括針對不同應用和集成場景優化的各種組件。從單通道手持控制器到多達 18 個通道的機架安裝模塊，我們總是很高興為您提供合適的工具。

控制系統

型號：MCS2，SCU - 簡單控制單元，SDC2，斯瑪拉特手控制器EMS。

軟件

斯瑪滑技術

每當將壓電原理***的分辨率與宏觀行程范圍相結合的關鍵時，SMARSLIDE平臺都是***的選擇。粘滑壓電驅動技術使SMARSLIDE能夠提供具有從幾毫米到超過一米的線性定位范圍的載物臺，以及***旋轉載物臺和超***和剛性測角儀。

低熱漂移和高諧振頻率

真空和低溫兼容性

緊湊且用途***

自夾緊和無間隙

非磁性材料選項

高度可定制

壓電驅動旋轉平臺

型號：SR-12012 - 旋轉平臺,SR-1908 - 旋轉平臺,SR-2013 - 旋轉平臺,SR-2812 - 旋轉平臺,SR-2812-CR - 低溫旋轉臺,SR-3211 - 旋轉平臺,SR-4011- 旋轉平臺,SR-4513 - 旋轉平臺,SR-5014 - 旋轉平臺,SR-5714 - 旋轉平臺,SR-5714C - 旋轉平臺,SR-7012 - 旋轉平臺,SR-9219 - 旋轉平臺,SR-9219C - 旋轉平臺,SRT-2006 - 低溫旋轉階段。

計量產品

***位移測量解決方案

干涉儀

位移測量用于非接觸式***位移測量的 PICOSCALE 干涉儀。

對于***位移測量，SmarAct提供PICO SCALE干涉儀，這是一款具有皮米分辨率的強大傳感器。基于***緊湊的邁克爾遜干涉儀，可以非常有效地實現對目標反射率限制較低的非侵入式位移測量。

傳感器頭可用于通用或針對特定任務（如角度或差分測量）進行優化。此外，我們還提供用于真空、低溫或其他惡劣環境的傳感器頭。由于其緊湊性，它們幾乎適合所有設置。強大的固件模塊和多功能附件補充了PICOSCALE產品組合，強調其作為實驗室設備的用途，用于與其他設備同步，信號生成，實時計算和更多應用。

***非接觸式位移測量

為了***測量位移，SmarAct提供了PICO SCALE干涉儀。

• 一臺儀器中有 3 臺平行激光干涉儀，用于 3D 測量

• 測量帶寬高達 2.5 MHz（10 MHz 采樣率），分辨率低至 1 pm1

• 可對大多數材料（塑料、玻璃、金屬甚至水）進行測量

• 適用于不同應用和環境（包括真空和低溫）的各種傳感器頭

• 可通過可選模塊擴展到***實驗室測量和控制儀器

• 久經考驗的性能，擁有 100 多名滿意的客戶

測振儀

振動測量，用于小樣品模態分析的皮克級測振儀。

PICO SCALE測振儀是一種交鑰匙解決方案，用于測量尺寸從幾微米到幾厘米的微機械結構的振動。應用包括MEMS、傳感器、微型揚聲器以及軸承和執行器的測試。由于該儀器配備了集成顯微鏡，可以測量高達100萬像素，因此非常適合以高空間和時間分辨率可視化振動模式。

光學編碼器

METIRIO? 光學編碼器 – 緊湊型讀數頭，可用作 OEM 和獨立組件。

METIRIO是一款進的***光學編碼器，其設計和制造旨在滿足閉環納米定位***嚴格的市場要求。該器件的開發基于多年的經驗和***的產品和市場分析，并考慮了應對當今技術挑戰的基本設計規則。它具有的小型化，高分辨率和速度。讀數頭是模塊化的，可以作為OEM產品提供，也可以內置到定制的金屬外殼中，以促進集成過程和易用性。梅蒂里奧在低功耗和特高壓使用方面樹立了新標準。相關軟件的圖形用戶界面包括簡化參數設置的智能功能，所有參數都可以存儲在內部存儲器中，以便可能調用。METIRIO 編碼器設計用于測量所有間距為 20 μm 的反射增量刻度，包括參考標記檢測。

納米探針

半導體器件的電氣特性。

納米探針臺SMAR探針LX的開發旨在將納米分辨閉環探測在效率和穩定性方面提升到一個新的水平。它允許定位多達八個探頭來分析或操作固定在其樣品臺上的樣品。該系統集成到電子顯微鏡中，用于5 nm晶體管的故障分析，或集成到光學顯微鏡裝置中，用于大樣品的大氣探測。