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 真空鍍膜機(jī)真空器件的檢漏方法有哪些呢?

  真空鍍膜廠家總結(jié)一下檢漏方法有哪些：

  依據(jù)電真空器材的結(jié)構(gòu)特色及丈量精度要求，常用的有兩種檢漏辦法，即氦罩法和噴吹法(這兩種檢漏辦法具體介紹可見：氦罩法和噴吹法的氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏常見辦法)。

  檢漏時(shí)，先用氦罩法進(jìn)行總漏率的測(cè)定，當(dāng)總漏率超出答應(yīng)值后再用噴吹法進(jìn)行漏孔的精確認(rèn)位。

  氦罩法是被檢件與檢漏儀銜接抽真空到達(dá)檢漏狀況后，用一個(gè)充溢氦氣的查驗(yàn)罩，把被檢件全體或部分的表面面包圍起來。

  查驗(yàn)罩充氦時(shí)先將罩內(nèi)空氣排出再充氦，以確保罩內(nèi)氦濃度盡可能挨近100百分之，被檢件上任何地方有走漏。

  檢漏儀都會(huì)有漏率值改變，顯示出漏率值。氦罩時(shí)刻也要繼續(xù)3~5倍檢漏儀呼應(yīng)時(shí)刻。

  ASM192T2氦質(zhì)譜檢漏儀反應(yīng)時(shí)刻小于0.5s,因而氦罩時(shí)刻30s即可。

  氦罩法可方便地測(cè)定被檢件總漏率，不會(huì)漏掉任何一處漏點(diǎn)，但不能確認(rèn)漏孔方位。

  噴吹法是將被檢件與儀器的真空體系相連，對(duì)被檢件抽真空后用噴槍向可疑漏孔處吹噴氦氣。

  當(dāng)有漏孔存在時(shí)，氦氣就經(jīng)過漏孔進(jìn)入質(zhì)譜儀被檢測(cè)出，噴吹法彌補(bǔ)了氦罩法不能定位的缺點(diǎn)。

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