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RBN-200XY-150Z-AB五軸精密運動臺
RBN-200XY-150Z-AB五軸精密運動臺 價格:  元(人民幣) 產地:北京順義區
最少起訂量:1 發貨地:本地至全國
上架時間:2024-04-28 11:56:33 瀏覽量:147
北京瑞邦精控科技有限公司  
經營模式: 公司類型:
所屬行業:儀器儀表加工設備 主要客戶:高校,企業,科研單位
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聯系人:王欣悅 (小姐) 手機:18145668702
電話: 傳真:
郵箱:490748999@qq.com 地址:

詳細介紹

產品特點 

l ?  直線軸行程200mm*200mm*150mm (XYZ)

l ?  旋轉軸行程±90°*360°(AB軸)

l ?  XYZ交叉滾柱導軌,納米級定位紋波

l ?  AB軸氣浮轉臺,亞微米跳動誤差

l ?  優化線纜管理系統

l ?  結構、行程可定制

 

應用領域

RBN-200XY-150Z-AB五軸精密運動臺用于曲面飛秒激光加工。

 

產品簡介

XY軸采用防蠕動十字交叉滾柱導軌導向,直線電機驅動及光柵尺閉環反饋,XY軸平面式結構,最大限度降低高度,減小系統誤差影響;此外XY軸可定制抱閘功能,抱閘位置漂移可控制在10nm內。

Z軸直驅力矩電機驅動,交叉滾柱導軌導向及光柵尺閉環反饋,獲得納米級定位紋波;

AB軸氣浮軸承、力矩電機驅動及光柵尺閉環反饋,閉式氣浮結構,對結構進行優化設計,氣浮軸承表面和創新的預壓高剛度,側向放置承載能力大,解決氣浮抱死的問題。優秀的軸向跳動誤差、徑向跳動誤差和傾角誤差,使AB軸正交2~10arc sec,軸向線重合度2~10μm。

大理石機體因強度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩定性好,應用于運動臺上質量可靠,品質有保障。大理石做模態分析,優化結構尺寸,可依據客戶的要求做最終設計。


規格指標

軸系

測試項目

單位

指標要求

實測指標

X

行程

mm

200

200

補償后定位精度

μm

±0.5

±0.07

雙向重復定位精度

μm

±0.15

±0.05

直線度

μm

±1.5

±1.1

平面度

μm

±2

±0.45

工作速度

mm/s

100

100

Y

行程

mm

200

200

補償后定位精度

μm

±0.75

±0.15

雙向重復定位精度

μm

±0.25

±0.04

直線度

μm

±1.5

±1.2

平面度

μm

±4

±0.9

工作速度

mm/s

100

100

A

行程

°

±90

±90

補償后定位精度

arc sec

±2

±0.4

雙向重復定位精度

arc sec

±1

±0.15

軸向跳動誤差

μm

0.5

0.2

徑向跳動誤差

μm

0.5

0.3

工作速度

°/s

40

40

B

行程

°

360

360

補償后定位精度

arc sec

±2

±0.4

雙向重復定位精度

arc sec

±1

±0.2

軸向跳動誤差

μm

0.5

0.1

徑向跳動誤差

μm

0.5

0.3

工作速度

°/s

40

40

Z

行程

mm

150

150

補償后定位精度

μm

±0.5

±0.4

雙向重復定位精度

μm

±0.1

±0.06

直線度

μm

±1

±0.05

平面度

μm

±1

±0.35

工作速度

mm/s

50

50

XYAB

負載

kg

1

1

Z

負載

kg

20

20

 

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