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半導(dǎo)體制造專用|里其樂防靜電葉片通過SEMI認(rèn)證,杜絕微塵污染
半導(dǎo)體制造專用|里其樂防靜電葉片通過SEMI認(rèn)證,杜絕微塵污染 價(jià)格:132  元(人民幣) 產(chǎn)地:廣東東莞市
最少起訂量:1 發(fā)貨地:本地至全國
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東莞市飛粵真空科技有限公司  
經(jīng)營模式:經(jīng)銷商 公司類型:私營有限責(zé)任公司
所屬行業(yè):真空泵 主要客戶:全國
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聯(lián)系人:劉瑜潔 (小姐) 手機(jī):15079723172
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詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體制造專用|里其樂防靜電葉片通過SEMI認(rèn)證,杜絕微塵污染
——專為晶圓級(jí)潔凈環(huán)境設(shè)計(jì),助力半導(dǎo)體良率與產(chǎn)能雙提升  

半導(dǎo)體真空系統(tǒng)的核心挑戰(zhàn):微粒污染與靜電吸附

污染源
對(duì)制程的影響
傳統(tǒng)葉片缺陷
摩擦微粒
 導(dǎo)致光刻膠針孔、金屬層短路    
 金屬/樹脂葉片易磨損脫落顆粒 
靜電吸附
 吸引環(huán)境微粒附著晶圓表面  
材料表面電阻>10??Ω,靜電積聚嚴(yán)重
化學(xué)殘留
 與工藝氣體反應(yīng)生成污染物 
涂層耐化性不足,釋放副產(chǎn)物  

行業(yè)數(shù)據(jù)警示:SEMI報(bào)告指出,真空泵系統(tǒng)貢獻(xiàn)了28%的潔凈室微粒污染(≥0.1μm),其中葉片磨損微粒占比超65%。(來源:SEMI S23-0219標(biāo)準(zhǔn)修訂案)  

里其樂防靜電葉片:從材料到認(rèn)證的全鏈路潔凈方案  
(技術(shù)解析結(jié)合SEMI認(rèn)證要求,強(qiáng)化合規(guī)性價(jià)值)  
防靜電核心技術(shù):雙重電荷消散機(jī)制  
? 導(dǎo)電碳纖維基體:  
- 基材嵌入納米碳管網(wǎng)絡(luò),體積電阻率穩(wěn)定在10?-10?Ω·cm(SEMI標(biāo)準(zhǔn):<10?Ω·cm)  
- 表面靜電消散時(shí)間<0.5秒(ESD S20.20標(biāo)準(zhǔn)要求<2秒)  

? 離子注入涂層:  
- 采用等離子體輔助沉積(PECVD)工藝,形成類金剛石碳(DLC)保護(hù)層  
- 表面電阻率≤10?Ω/sq,摩擦起電壓<5V(普通葉片>2000V)  


SEMI認(rèn)證的三大核心突破  
? 材料潔凈度:  
- 通過SEMI F47-0308氣體兼容性測試,耐蝕性覆蓋Cl?、CF?等蝕刻氣體  
- 總揮發(fā)性有機(jī)物(TVOC)釋放量<1μg/g,符合SEMI E49-1103標(biāo)準(zhǔn)  

? 微粒控制:  
- 葉片表面經(jīng)磁流變拋光(MRF),粗糙度Ra≤0.05μm  
- 動(dòng)態(tài)運(yùn)行中微粒釋放量<5個(gè)/分鐘(0.1μm以上,SEMI E129-1107 Class 0級(jí))  

? 長期穩(wěn)定性:  
- 加速老化測試顯示,1000小時(shí)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)后電阻率波動(dòng)<±8%  
- 通過300次高溫(150℃)-低溫(-40℃)循環(huán)沖擊測試無性能衰減  

實(shí)測數(shù)據(jù):晶圓廠真空系統(tǒng)改造對(duì)比  
(以頭部客戶案例佐證技術(shù)實(shí)效)  

案例:12英寸邏輯芯片制造車間升級(jí)項(xiàng)目  
- 原產(chǎn)線痛點(diǎn):  
  ? 每月因微粒污染導(dǎo)致的晶圓返工率達(dá)1.2%  
  ? 真空泵每400小時(shí)需停機(jī)清潔,年損失產(chǎn)能320小時(shí)  

-解決方案:  
  ? 替換12臺(tái)干泵的里其樂**SEMI-Certified?防靜電葉片  
  ? 加裝葉片磨損在線監(jiān)測系統(tǒng)  

改造后數(shù)據(jù):  

 指標(biāo) 
 改造前
改造后  
提升幅度  
 晶圓表面微粒數(shù) 
38個(gè)/片 
≤5個(gè)/片 
↓86.8% 
真空泵維護(hù)周期 
 400小時(shí) 
1200小時(shí)  
↑200%  
靜電導(dǎo)致的設(shè)備報(bào)警
12次/月 
 0次/月 
100%消除 


SEMI認(rèn)證的深層價(jià)值:合規(guī)性保障與成本優(yōu)化  
(將認(rèn)證轉(zhuǎn)化為企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益)  
1. 規(guī)避合規(guī)風(fēng)險(xiǎn)  
- 滿足臺(tái)積電、三星等頭部Foundry的供應(yīng)商準(zhǔn)入要求  
- 通過SEMI E142-1107設(shè)備數(shù)據(jù)追溯標(biāo)準(zhǔn),支持全生命周期質(zhì)量追溯  

2. 綜合成本降低  
- 直接節(jié)省:年維護(hù)成本下降52%(以月產(chǎn)能3萬片的8英寸廠為例)  
- 隱性收益:  
  ? 晶圓良率提升0.7%-1.2%  
  ? 減少潔凈室FFU過濾網(wǎng)更換頻率(年節(jié)省耗材成本超80萬元)  


專屬技術(shù)服務(wù):從認(rèn)證到落地的全程護(hù)航  
(強(qiáng)化B2B服務(wù)差異化競爭力)  
- SEMI合規(guī)咨詢:免費(fèi)提供設(shè)備升級(jí)合規(guī)性預(yù)評(píng)估報(bào)告  
-潔凈室適配測試:48小時(shí)出具葉片-設(shè)備-工藝匹配驗(yàn)證數(shù)據(jù)  
- 快速響應(yīng)網(wǎng)絡(luò):  
  ? 臺(tái)灣、韓國、新加坡保稅倉支持4小時(shí)極速交付  
  ? 7×24小時(shí)駐廠工程師應(yīng)急支持  




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