| 法國ALCATEL阿爾卡特真空泵：半導體電子行業的高端真空解決方案 |
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價格：19999 元(人民幣) | 產地：廣東東莞市 |
| 最少起訂量：1臺 | 發貨地：廣東東莞市 | |
| 上架時間：2025-04-26 11:39:32 | 瀏覽量：8 | |
東莞市飛粵真空科技有限公司
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| 經營模式：經銷商 | 公司類型：私營有限責任公司 | |
| 所屬行業：真空泵 | 主要客戶：全國 | |
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法國ALCATEL阿爾卡特真空泵：半導體電子行業的高端真空解決方案
專業真空技術，賦能半導體制造 法國ALCATEL（阿爾卡特）真空泵是全球半導體和電子行業的核心真空設備供應商之一。憑借超高真空（UHV）、潔凈無油、耐腐蝕等核心技術，ALCATEL真空泵廣泛應用于芯片制造、顯示面板、先進封裝、科研設備等領域，助力5nm/3nm先進制程、第三代半導體及Micro LED等前沿技術發展。 ALCATEL真空泵在半導體電子行業的應用 1. 芯片制造（前道工藝） ? 光刻（Lithography） - EUV/DUV光刻機：提供超高真空（≤10?? mbar），減少光散射，確保曝光精度。 - 推薦泵型：渦輪分子泵（HiPace系列）+干式螺桿泵組合。 ? 刻蝕（Etching） - 等離子刻蝕（Dry Etching）：穩定維持低氣壓（10??~10?? mbar），兼容Cl?、CF?等腐蝕性氣體。 - 推薦泵型：耐腐蝕干式泵（A4系列）。 ? 薄膜沉積（CVD/PVD/ALD） - CVD（化學氣相沉積）：SiO?、Si?N?等薄膜生長，需中高真空環境。 -PVD（物理氣相沉積）：金屬濺射鍍膜（Al、Cu），依賴超高真空。 - ALD（原子層沉積）：納米級薄膜沉積，要求快速抽氣與精準壓力控制。 - 推薦泵型：渦輪分子泵+羅茨泵（增壓）+干式前級泵。 ? 離子注入（Ion Implantation） - 高真空環境（10?? mbar）確保離子束精準摻雜，提升芯片性能。 - 推薦泵型：渦輪分子泵+低溫泵（極高純度）。 2. 先進封裝與測試（后道工藝） ? 真空封裝 - MEMS傳感器、功率器件（IGBT）：惰性氣體或真空封裝，防止氧化。 - 推薦泵型：無油干式泵（避免碳氫污染）。 ? 氦質譜檢漏（Leak Testing） - 檢測芯片封裝氣密性，確保產品可靠性。 - 推薦泵型：渦輪分子泵+隔膜泵（高靈敏度）。 3. 平板顯示（LCD/OLED）制造 ? 顯示面板鍍膜 - ITO導電層、OLED有機材料蒸鍍：要求高均勻性、無顆粒污染。 - 推薦泵型：大抽速渦輪分子泵（如HiPace 3000）。 ? OLED真空封裝 - 超高真空（10?? mbar）隔絕水氧，延長屏幕壽命。 - 推薦泵型：低溫泵（極低水汽殘留）。 ALCATEL真空泵的核心技術優勢 ? 超高真空（UHV）性能：支持10?? mbar極高真空，滿足EUV光刻等尖端需求。 ? 100%無油設計：干式泵、磁懸浮渦輪泵杜絕碳氫污染，符合SEMI潔凈標準。 ? 耐腐蝕處理：特殊涂層（如Al?O?）應對WF?、HCl等蝕刻氣體。 ? 智能控制：集成IoT傳感器，實時監控壓力、溫度，提升工藝穩定性。 為什么全球半導體巨頭選擇ALCATEL真空泵？ ?? ASML（光刻機）、應用材料（AMAT）、Lam Research（刻蝕設備）等廠商長期合作。 ?? 適配3nm/2nm制程、SiC/GaN第三代半導體等未來技術需求。 ?? 普發真空（Pfeiffer Vacuum）全球服務網絡，提供快速技術支持與定制化方案。 ALCATEL真空泵——為半導體創新提供純凈、穩定、高效的真空環境！   |
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